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 1959年，Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設想。1962年一個硅微型壓力傳感器問世，其后開發出尺寸為50～500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯接件等微機械。1965年，斯坦福大學研制出硅腦電極探針，后來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研制出轉子直徑為60～12μm的利用硅微型靜電機，顯示出利用硅微加工工藝制造小可動結構并與集成電路兼容以制造微小系統的潛力。
機械零件是由若干個表面組成的，研究零件表面的相對關系，必須確定一個基準，基準是零件上用來確定其它點、線、面的位置所依據的點、線、面。根據基準的不同功能，基準可分為設計基準和工藝基準兩類。設計基準　　在零件圖上用以確定其它點、線、面位置的基準，稱為設計基準。各外圓和內孔的設計基準是零件的軸心線，端面A是端面B、C的設計基準，內孔的軸線是外圓徑向跳動的基準。精密和超精密加工時現代機械加工制造技術的一個重要組成部分，是衡量一個國家高科技制造業水平高低的重要指標之一。20世紀60年代以來，隨著計算機及信息技術的發展，對制造技術提出了更高的要求，不僅要求獲得極高的尺寸、形位精度，而且要求獲得極高的表面質量。正是在這樣的市場需求下，超精密加工技術得到了迅速的發展，各種工藝、新方法不斷涌現。CNC技術、材料技術、激光技術以及CAD技術等現代的科技成果，是現代先進機械加工技術的重要組成部分。